克日,,,,,公司自主研制的碳化硅高温热处置惩罚工艺装备乐成下线,,,,,试运行时代各项手艺指标均知足客户需求,,,,,通过预验收后顺遂发往海内半导体IDM某头部企业。。。。。该装备主要用于制造碳化硅功率器件,,,,,能有用降低碳化硅晶体中的微观应力、消除组织缺陷和降低界面态密度、提高载流子迁徙率以及寿命。。。。。此次碳化硅高温热处置惩罚工艺装备的首次发货,,,,,标记着公司在第三代半导体装备上取得重大突破,,,,,半导体装备的自主研发能力迈上了新台阶,,,,,为拓展新领域营业涤讪了坚实基础。。。。。

我国半导体装备依赖入口时势有所改善,,,,,但要害装备、部件依然“受制于人”,,,,,面临交货周期长或无法供货等问题。。。。。为助力半导体制造手艺生长,,,,,公司建设了半导体装备事业部,,,,,组建碳化硅要害装备手艺立异团队,,,,,在公司高层的统一指挥和推动下,,,,,制订科研攻关妄想,,,,,明确重点,,,,,压实责任,,,,,统筹推进,,,,,短时间内突破了工艺炉管腔室设计与制造手艺等六大焦点手艺,,,,,乐成研制出碳化硅高温热处置惩罚装备,,,,,并获得市场订单。。。。。
公司始终切记习总书记实业报国嘱托,,,,,自力重生,,,,,坚决打赢半导体领域焦点手艺攻坚战。。。。。公司将在半导体装备领域继续加大研发投入力度,,,,,主攻工艺融合装备偏向,,,,,为客户提供功效越发完善、精度更高以及自动化、智能化水平更好的半导体装备,,,,,将更好的装备,,,,,更优的服务带给客户,,,,,实现相助共赢。。。。。