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Wafer Scrubber tool
Wafer Scrubber tool
Functional application
·Top/Back side clean， ，，，，，，，Force down Brush， ，，，，，，，Bevel brush， ，，，，，，，Megasonic clean， ，，，，，，，HPC clean， ，，，，，，， Nano clean， ，，，，，，，SC1-Nano clean.
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