全自动石墨舟装卸片机
全自动石墨舟装卸片机
手艺特点 Features
· 装备� ？？？？ ？ ？？？榛杓�，，，， ，，内部相似结构零部件高度统一，，，， ，，便于备件管理。 。。。。 。。
· 接纳触摸屏+PLC 控制，，，， ，，操作界面精练明晰。 。。。。 。。
· 接纳小舟流转装卸逻辑，，，， ，，产能高: ≥ 8000 片/ 小时(182mm 硅片)。 。。。。 。。
· 设置机台内部最高权限暂停功效，，，， ，，充分提升机台清静冗余。 。。。。 。。
· 可设置行业主流检测装备（选配功效），，，， ，，提升制成良率。 。。。。 。。
· 可搭配AGV，，，， ，，RFID 实现花篮和工艺载具全自动调理追溯，，，， ，，并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级管理和调理。 。。。。 。。
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