手艺特点 Features
· 装备?????榛杓疲,,,,内部相似结构零部件高度统一,,,,,便于备件治理。。。。。。。。
· 接纳触摸屏+PLC 控制,,,,,操作界面精练明晰。。。。。。。。
· 接纳小舟流转装卸逻辑,,,,,产能高: ≥ 8000 片/ 小时(182mm 硅片)。。。。。。。。
· 设置机台内部最高权限暂停功效,,,,,充分提升机台清静冗余。。。。。。。。
· 可设置行业主流检测装备(选配功效),,,,,提升制成良率。。。。。。。。
· 可搭配AGV,,,,,RFID 实现花篮和工艺载具全自动调理追溯,,,,,并且可通过链接MES 实现花篮和工艺载具车间级治理和调理。。。。。。。。