手艺特点 Features
· 最小反射功率的快速启辉、匀称稳固大面积成膜。。。。。。。。
· 成熟稳固的多点馈入射频RF 手艺、手艺兼容性和产品升级。。。。。。。。
· 腔体内反应间距可调、无邪的工艺窗口。。。。。。。。
· 大产能低本钱、定制装备结构。。。。。。。。
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