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空间型原子层镀膜装备(ALD)

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空间型原子层镀膜装备(ALD)

  手艺特点  Features  

· 双源管路设计,,,,,快捷切换;;; ;;;;

· 准确控制原子级薄膜镀膜;;; ;;;;

· 布气板??????榛杓,,,,,维护便捷。。 。。。。。。



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