单面卷绕蒸发溅射一体机
单面卷绕蒸发溅射一体机
手艺特点 Features
· 蒸发腔、溅射腔共存；；；；；；；
· 蒸发腔：单面蒸发，，，， ，，，可镀铝、锂等低温蒸发质料；；；；；；；
· 溅射腔：6对旋转靶，，，， ，，，可替换平面靶；；；；；；；
· 后腔：可举行加热、冷却、气体处置惩罚、plasma处置惩罚等。。。。。。。
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复合集流体高速分切机
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单面卷绕溅射镀膜机（三腔）
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