手艺特点 Features
· 蒸发腔、溅射腔共存;;;;;
· 蒸发腔:单面蒸发,,,,,,可镀铝、锂等低温蒸发质料;;;;;
· 溅射腔:6对旋转靶,,,,,,可替换平面靶;;;;;
· 后腔:可举行加热、冷却、气体处置惩罚、plasma处置惩罚等。。。。。
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