手艺特点 Features  

· 接纳等离子和石墨靶预处置惩罚装置，，，，，，，有用提高膜层的结协力；；；；；；

· 双溅射工艺腔室，，，，，，，单腔镀膜时间减半，，，，，，，更短生产节奏；；；；；；

· 设置多组溅射靶，，，，，，，可以实现多质料高效率沉积；；；；；；

· 多蒸发舟间距无级可调，，，，，，，ES距离可微调，，，，，，，注射泵精准控制补液计量，，，，，，，包管产品抗油污性能；；；；；；

· 大直径镀膜鼓设计，，，，，，，定制化挂板计划，，，，，，，有用提高产能；；；；；；

· 自动化控制上下板历程，，，，，，，门阀、轨道清静检测，，，，，，，包管操作清静性。。。。。。。