4腔单晶圆水平电镀工艺装备
4腔单晶圆水平电镀工艺装备
手艺特点 Features
· 片内匀称性：＜4%，，，，，， ，，片间匀称性：＜3%，，，，，， ，，重复性：＜3%，，，，，， ，，COP：＜10?m。。。 。。。。
· 90%部件本土化，，，，，， ，，外地软件团队，，，，，， ，，有自力的设计和专利。。。 。。。。
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光罩洗濯装备
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16腔单晶圆水平电镀量产装备
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