手艺特点  Features  

· 最小反射功率的快速启辉、匀称稳固大面积成膜。。。。。。。

· 成熟稳固的多点馈入射频RF 手艺、手艺兼容性和产品升级。。。。。。。

· 腔体内反应间距可调、无邪的工艺窗口。。。。。。。

· 大产能低本钱、定制装备结构。。。。。。。

· 模浚？？？？？榛杓票阌谧爸煤臀ぁ⒏弑曜嫉那寰采杓仆纺浴！。。。。。