手艺特点 Features  

· 集成热蒸镀（VED）、磁控溅射(PVD)、反应式等离子(RPD)镀膜；；；；；

· 一台SPE1000T知足钙钛矿薄膜镀膜需求，，，，，，等同三台装备产能；；；；；

· 一连真空镀膜，，，，，，镌汰基板装/卸及膜层袒露大气次数，，，，，，有利于器件效率提升；；；；；

· 净化厂房面积需求缩小40%，，，，，，装备本钱降低30%。。。。。