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空间型原子层镀膜装备(ALD)

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空间型原子层镀膜装备(ALD)

  手艺特点  Features  

· 双源管路设计, ,,,,,,快捷切换;;;; ;;

· 准确控制原子级薄膜镀膜;;;; ;;

· 布气板 ????? ??榛杓疲 ,,,,,,维护便捷。。。。。。。。



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