手艺特点 Features  

· PR stripper，，，，，Nit Stripper,，，，，，Pre-Clean，，，，，B-Clean，，，，，Metal etching，，，，，Recycle，，，，，Post CMP clean, EKC stripper，，，，，Post Ash Polymer Removal .

· PA adder, 0.16um <10ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.