手艺特点 Features  

· PR stripper，，，，，，Nit Stripper，，，，，，Pre Clean，，，，，，Metal Etch,，，，，，，EKC stripper，，，，，，Post Ash Polymer Removal，，，，，， Wafer Recycle, Carrier Clean.

· PA adder, >0.16um <30ea u% <3% 氧化物刻蚀 SECS GEM, RMS, iEMS, FDC Scheduler.