晶圆擦洗装备（刷片机）
晶圆擦洗装备（刷片机）
手艺特点 Features
· Top/Back side clean，，，， ，Force down Brush, Bevel brush, Megasonic clean，，，， ，HPC clean, Nano clean，，，， ，SC1-Nano clean.
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16腔单晶圆水平电镀量产装备
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金属剥离机
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