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管式等离子体多晶硅淀积炉

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管式等离子体多晶硅淀积炉

  手艺特点  Features  

· 隧穿氧化层、i-poly、D-poly 三合一同管完成,,,,,,镌汰工艺环节,,,,,,有用提升良率、降低碎片率。。 。。。。

· 无热壁特征,,,,,,石英管使用寿命长。。 。。。。

· 绕镀稍微,,,,,,易去除。。 。。。。

· 精准掺杂、可引入其它提效掺杂元素,,,,,,工艺拓展、提效空间大。。 。。。。

· 防导通专利手艺。。 。。。。


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