手艺特点  Features   

· 成熟BBr₃液态源、BCL₃气态源控制与运送手艺。。。。。

· 配套相关专利手艺。。。。。

· 奇异双嵌套炉门结构。。。。。

· 高速平稳整体模组推舟机构。。。。。

· 智能化全自动控制。。。。。

· 自主知识产权MES软件。。。。。

· 匹配S.C智能化生产治理系统。。。。。