手艺特点 Features
· 低压与热壁工艺特征,,,,,,,成膜匀称性、致密性好。。。。。。。
· LPCVD工艺特征,,,,,,,基片密排对成膜速率影响小,,,,,,,单管装片量大。。。。。。。
· 更多温区设置,,,,,,,可靠包管片间匀称性。。。。。。。
· 自力调理分段进气,,,,,,,填补气流耗尽效应。。。。。。。
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