手艺特点  Features  

· 低压与热壁工艺特征，，，，，，，成膜匀称性、致密性好。。。。。。。

· LPCVD工艺特征，，，，，，，基片密排对成膜速率影响小，，，，，，，单管装片量大。。。。。。。

· 更多温区设置，，，，，，，可靠包管片间匀称性。。。。。。。

· 自力调理分段进气，，，，，，，填补气流耗尽效应。。。。。。。