手艺特点  Features   

· 产能：600 片/ 批，，，，， 14400 片/ 小时（210 硅片）；；；；；；；；720 片/ 批，，，，， 17280 片/ 小时（182 硅片）。。。。。。。。

· 兼容背面刻蚀抛光及单晶背面制绒工艺。。。。。。。。

· 支持多种添加剂手艺。。。。。。。。

· 支持最薄120μm 硅片。。。。。。。。

· 清洁区域干燥，，，，，自清洁系统。。。。。。。。

· 快速换液，，，，，在线换液。。。。。。。。

· 支持MES、RFID 及选配在线称重功效。。。。。。。。