手艺特点  Features  

· 产能：400片/批，，，，，，，9600片/小时（210硅片）,480片/批，，，，，，，12000片/小时（182硅片）。。。。。。。

· 支持多种添加剂手艺。。。。。。。

· 支持最薄120μm硅片。。。。。。。

· 清洁区域干燥，，，，，，，自清洁系统。。。。。。。

· 快速换液，，，，，，，在线换液。。。。。。。

· 支持MES、RFID及选配在线称重功效。。。。。。。