板式透明导电薄膜沉积装备(RPD/PAR)
板式透明导电薄膜沉积装备(RPD/PAR)
手艺特点 Features
· PVD具有多阶阴极，，，，，，，，可以制备种子层与多种折射率的叠层TCO。。。。。。。。
· RPD具有无高能离子轰击衬底特点，，，，，，，，能制备高少子迁徙率的TCO。。。。。。。。
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板式等离子体增强化学气相沉积装备
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光罩洗濯装备
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